一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺

摘要

本发明属于酸锂晶片用具技术领域，尤其涉及一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺。本发明公开了一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺，其步骤如下：A：切割成厚度0.6‑1mm的晶片；B：把晶片装入还原炉内还原；C：研磨后用超声波清洗干净；D：粘片工艺；E：研磨工艺；F：抛光工艺；G：清洗工艺：然后装盒。本发明采用2次腐蚀去除晶片内部应力，晶片黑化去静电荷，机械化学法抛光达到超光滑平面，使得各项指标达到TTV<5um，BOW<40um，warp<40um PLTV>95%适合大批量生产。