一种双反馈气体流量传感器

摘要

本发明公开了一种双反馈气体流量传感器，包括：气流探头、差分放大电路、调理电路、补偿电路、控制器和功率放大电路。本发明使用控制器输出两路PWM波给功率放大电路进而调控反馈电流的大小，而不是直接利用差分模拟电路进行电流的反馈，在控制器中设置相应的控制算法输出合适的反馈量，避免了模拟电路反馈量过大或过小、多次反馈、响应速度慢的缺点，有助于实现电桥的快速平衡，极大地改善了传感器的动态性能。同时本发明根据管道内的气体压强对体积流量进行实时修正，从而得到实际工况下精确的气体体积流量值，消除了因为气压变化造成的测量误差，满足工业生产测量对体积流量计的精度要求。