一种HARP设备的真空气路结构

摘要

本实用新型公开了一种HARP设备的真空气路结构，所述HARP设备内的加热器表面形成有真空吸附气孔和泄压气孔，所述真空吸附气孔与真空管路连通，所述泄压气孔与旁路管路连通，所述真空管路提供真空以吸附晶圆，所述旁路管路提供气体以解除对晶圆的真空吸附及与对所述HARP设备的腔体进行泄压。本实用新型通过将真空管路与旁路管路分别使用不同的管道，被真空管路吸入的颗粒不会被再次吹至晶圆表面或HARP设备的腔室内，因此，可以较好的避免因此而造成的后续晶圆清洗流程负担的加重，以及很好的避免可能对HARP设备腔室的污染。