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圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种圆光栅安装时产生二维微小角度的测量装置及方法,包括有相互配合的夹持定位调整装置和激光发生装置,测量时,先将待测轴安装在活动块的V型槽上,移动滑块在直线导轨上移动,使电感测头的测量点位于待测端面近端,瞄准完成后控制电感测头在当前位置测量,得到初始位移;然后移动滑块令电感测头测量点位于待测轴端面远端,再次测量获得位移量;根据两个维度上两次测量得到的位移差值结合两次测量轴侧面的位移量可算出待测轴轴径方向相对于圆光栅安装端面的二维角度,此角度也就是圆光栅安装端面相对于轴径方向的二维角度。本发明结构简单,实现了圆光栅安装二维微小角度的测量,同时可机械加工过程的在线测量,测量精度较高。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-08-24

    授权

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  • 2014-07-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 7/30 申请日:20131210

    实质审查的生效

  • 2014-06-25

    公开

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