一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种方便阴极系统保养的大型卷绕式磁控溅射镀膜机，其包括镀膜室和用于支承镀膜室的机架，镀膜室内围绕水平的冷却辊周围对称设置有轴线平行于冷却辊的多组孪生靶，多组孪生靶的同一端分别穿过镀膜室侧壁所开的对应孔后支承在同一固定板上、另一端则各自间接地吊在或支承在平行于孪生靶轴的炉体内轨道上，固定板的下端两侧设置有轨道轮组件，轨道轮组件滑动支承在镀膜室外的机架的轨道上。本实用新型在需要对阴极靶进行保养维修的时候，可把所有的阴极靶组拉出镀膜室，然后分别启动各个阴极靶组对应的旋转电机，把相应的阴极靶转动到合适方位上检修。与现有的镀膜机相比，检修方便，提高了工效，省时省工省力。