一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶

摘要

本实用新型公开了一种卷绕式真空磁控溅射镀膜机的旋转靶，包括靶座、浮动座、安装座、锥套、锥槽、轴承安装槽、轴承、靶管，锥套上开设有安装孔，两个浮动座由调节装置驱动其相对移动，以调节两个锥套的纵向间距。本实用新型的有益效果：设置两个安装臂，同时在两个安装臂上安装锥套，通过锥套以锥度配合在锥槽内，使得轴承的安装精度较高，即使轴承重复安装后，亦能保证两个轴承的同轴度，此外通过两个浮动座的上下移动，使安装臂对应靶管不同位置，进而能够根据靶管长度型号来调节两个安装臂的纵向间距，适应不同长度的靶管进行安装。