公开/公告号CN215929712U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-03-01
原文格式PDF
申请/专利权人 上海芯赛云计算科技有限公司;
申请/专利号CN202122692649.2
申请日2021-11-05
分类号F24D3/10(20060101);F24D19/10(20060101);H05K7/20(20060101);
代理机构11665 北京市京师律师事务所;
代理人黄熊
地址 200431 上海市宝山区纪蕴路588号9、10、24、29、30、32、36、37幢
入库时间 2022-08-23 05:06:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-03-01
授权
实用新型专利权授予
机译: 在浸没式光刻中回收液滴的装置和方法
机译: 浸没式光刻中的光学器件清洁方法,将清洁液供应到光学元件下方的物体表面,液体供应口和液体回收口
机译: 在浸没式光刻中回收液滴的装置和方法