一种芯片外观参数测量台仪器

摘要

本实用新型涉及测量仪器技术领域，具体为一种芯片外观参数测量台仪器，包括光学测量探头，所述光学测量探头设置在测量杆的顶部，所述测量杆的下端连接有底座，所述底座上分别设置有第一固定卡爪、第二固定卡爪、第一活动卡爪和第二活动卡爪，所述第一活动卡爪滑动连接于第一滑杆，所述第二活动卡爪滑动连接于第二滑杆，所述第一滑杆和第二滑杆分别设置于第一凹槽和第二凹槽内，所述第一滑杆套设有第一弹簧，所述第一弹簧一侧连接于第一凹槽，所述第一弹簧的另一侧连接于第一活动卡爪，所述第二滑杆套设有第二弹簧，所述第二弹簧一侧连接于第二凹槽，所述第二弹簧的另一侧连接于第二活动卡爪，形成弹性滑动结构，从而能够更好的夹持芯片。