公开/公告号CN215886498U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国石油化工股份有限公司;中石化炼化工程(集团)股份有限公司;
申请/专利号CN202122251124.5
申请日2021-09-16
分类号C02F1/78(20060101);C02F101/30(20060101);C02F103/36(20060101);
代理机构11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陈秋梦
地址 100000 北京市朝阳区朝阳门北大街22号
入库时间 2022-08-23 05:01:09
机译: 基板处理装置,基板处理系统,基板处理装置的控制方法,以及基板处理系统的控制方法
机译: 信息处理系统,信息处理系统的控制方法,信息处理装置,信息处理装置的控制方法和程序
机译: 信息处理系统,信息处理系统的控制方法,信息处理装置,信息处理装置的控制方法和程序