硅片脱胶设备及硅片脱胶插片系统

摘要

本申请提供一种硅片脱胶设备及硅片脱胶插片系统，涉及硅片生产技术领域。硅片脱胶设备包括脱胶下料槽、脱胶花篮、片托、顶升机构、第一传输机构和第二传输机构；脱胶花篮用于置于脱胶下料槽内，脱胶花篮的底部具有第一开口，脱胶花篮的一侧壁具有第二开口，第二开口与第一开口连通；顶升机构、第一传输机构和第二传输机构设置于所述脱胶下料槽；顶升机构被构造成驱动第一传输机构沿脱胶下料槽的高度方向升降；第一传输机构被构造成传输片托并能够将片托传输至第二传输机构；第二传输机构用于将片托传输至插片机的导轨；片托能够从第一开口将脱胶花篮内的硅片承接，且片托能够由第一传输机构经第二开口传输至第二传输机构。其能够提高工作效率。