公开/公告号CN215866269U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-18
原文格式PDF
申请/专利权人 吴江市华宇净化设备有限公司;
申请/专利号CN202121900276.7
发明设计人 高正;
申请日2021-08-14
分类号G01N15/02(20060101);G01N15/10(20060101);
代理机构32366 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人计静静
地址 215216 江苏省苏州市吴江市同里镇屯南村
入库时间 2022-08-23 04:53:47
机译: 带电粒子束的标准标记,带标准粒子的带电粒子束曝光装置和半导体装置的制造
机译: 用于操作粒子束装置的粒子束发生器的方法和包括粒子束发生器的粒子束装置
机译: 带电粒子束发生器和具有该粒子束处理装置的粒子束处理装置以及带电粒子束发生器的操作方法