一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具

摘要

本申请公开了一种用于高低温环境芯片光电特性检测的新型多功能检具，在底座上设有带观察窗的低温腔，还设置有多维可调节显微机构，多维可调节显微机构可以实现不同空间位置的显微镜镜头观察角度，可以透过观察窗对低温腔内部的芯片进行观察和便于探针扎针测试、检测，进一步提高芯片低温检测检具的功能，使其配合性地提高低温腔在检测时的芯片检测效果；本实用新型还配置了有毒气体检测机构，可以在芯片低温检具做检测时往腔体内通入不同气氛检测在此环境下芯片样品性能时有毒气体进行检测，及时提醒检测人员预防。还具有光学特性检测装置，可以对高低温腔内的有源光学元件进行光学特性检测，实现多功能检测应用。