一种直接测量微纳材料热电优值的探测器

摘要

本实用新型公开了一种直接测量微纳材料热电优值的探测器,包括：硅衬底、氧化绝缘层、左侧电极、中间电极、右侧电极；氧化绝缘层形成在硅衬底的上层，左侧电极、中间电极、右侧电极并排对称间隔布置在氧化绝缘层上层，样品悬空放置在左侧电极、中间电极、右侧电极上；采用光刻‑套刻‑刻蚀结合工艺制备双H型悬空微纳电极作为样品测量探头，消除电极与衬底间的导热热损影响。将样品与电极放置与高真空恒温舱内，连接外部测量电路进行测量，该电极可一次性精确测量同一个样品的ZT、电导率、热导率及塞贝克系数以及热扩散率等热电参数。