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掩膜支撑片、掩膜支撑片组件及精细金属掩膜组件

摘要

本实用新型涉及在显示装置制造中所使用的薄膜工艺用掩膜支撑片、掩膜支撑片组件及精细金属掩膜组件。本实用新型的实施例涉及的掩膜支撑片,作为在显示装置制造中所使用的薄膜工艺用掩膜支撑片,所述掩膜支撑片是一体型的金属片,所述掩膜支撑片包括:多个显示开口部,与每单位显示装置的显示区域对应;以及多个突出端,从边缘向外轮廓方向突出,所述掩膜支撑片被构成为支撑精细金属掩膜条,该精细金属掩膜(Fine Metal Mask)条包括与所述显示区域内的细节图案对应的多个细微开口部,所述显示开口部分别包括盆地型凹口,该盆地型凹口呈与精细金属掩膜条相邻一侧凹陷的形态。

著录项

  • 公开/公告号CN215713328U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2022-02-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 皮姆思株式会社;

    申请/专利号CN202120789198.1

  • 发明设计人 庾弘宇;

    申请日2021-04-16

  • 分类号C23C14/04(20060101);C23C16/04(20060101);H01L21/308(20060101);

  • 代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;

  • 代理人金兰

  • 地址 韩国仁川市

  • 入库时间 2022-08-23 04:29:07

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