一种半导体电学性能测试装置

摘要

一种半导体电学性能测试装置，属于半导体性能测试技术领域，该测试装置，包括定位卡盘及其周向设置的多个导向夹紧装置，定位卡盘上吸附定位有晶圆，导向夹紧装置包括夹紧杆，多个夹紧杆弹性夹紧晶圆的外侧后形成接触电极，晶圆上方一段距离处设置探针，本实用新型的有益效果是，该测试装置结构简单、操作方便，兼容多种半导体晶圆尺寸，适用于含导电及绝缘衬底的半导体，可避免接触半导体表面，减少了半导体表面沾污，提高了良率。