公开/公告号CN215654984U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 江苏灵湾特种陶瓷科技有限公司;
申请/专利号CN202122179409.2
发明设计人 蒋程;
申请日2021-09-09
分类号B01F33/83(20220101);B01F29/64(20220101);B01F35/32(20220101);B01F35/33(20220101);B01F35/43(20220101);
代理机构
代理人
地址 213000 江苏省常州市金坛区华城路1668号
入库时间 2022-08-23 04:23:49
机译: 制备用于基板处理的化学液体的化学液体制备方法,制备用于基板处理的化学液体的化学液体制备单元和基板处理系统
机译: 半导体制造设备用零件及半导体制造设备用零件的制造方法
机译: 半导体制造设备用零件及半导体制造设备用零件的制造方法