一种ECR离子源装置

摘要

本实用新型的一种ECR离子源装置，包括圆形波导管和起弧腔，还包括微波馈入窗，微波馈入窗位于圆形波导管和起弧腔之间；圆形波导管通过微波馈入窗与起弧腔相连，另一端安装天线；所述起弧腔的内部设有磁体组，磁体组一端设有三栅极，起弧腔与真空法兰相连，真空法兰用于隔绝真空和固定三栅极的电极；所述起弧腔外部设有陶瓷腔，用于固定和绝缘电极；三栅极三个极片分别有三个电极穿过法兰伸到真空外用以接高压电用；圆形波导管外接微波源，微波通过同轴电缆传输到圆形波导管内，同轴电缆伸入天线进入到圆形波导管内。本实用新型具有体积小，结构紧凑等特点，能连续工作，能够在较低的气压下稳定提供离子并且与气体兼容性高，提供的离子清洁度高，能量大。