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公开/公告号CN215597247U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-01-21
原文格式PDF
申请/专利权人 润电能源科学技术有限公司;
申请/专利号CN202121279193.0
发明设计人 李源;赵鑫平;黄永志;张平安;任利明;毛睿;
申请日2021-06-07
分类号F23C5/28(20060101);F23C7/02(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人任美玲
地址 450000 河南省郑州市自贸试验区郑州片区(郑东)正光北街40号华能河南大厦六楼606室
入库时间 2022-08-23 04:08:22
机译: 一种制造MEMS电容式麦克风的MEMS方法及由该方法制造的MEMS电容式麦克风
机译: 一种电容式麦克风的制造方法和电容式麦克风
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