一种SiCl4输送系统

摘要

本实用新型公开了一种SiCl4输送系统，包括源料罐车、氮压式卸料子系统、泵送式输送子系统和氮压式供给子系统，所述源料罐车用于存储液态的SiCl4源料；氮压式卸料子系统用于利用氮气将SiCl4源料从源料罐车中压出并输送至泵送式输送子系统中；泵送式输送子系统用于将SiCl4源料以设定压力输送至氮压式供给子系统；氮压式供给子系统用于将SiCl4源料分流供给给各个工艺机台。本实用新型综合了氮压式和泵送式的优点，安全性更高，输送压力稳定，提高了原料供应系统的安全性和流量稳定性。