一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台

摘要

本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台，所述沉积台包括籽晶托、均温片、基座和支撑柱，所述基座的上顶面中心沿其中心轴方向内凹形成容纳所述均温片和籽晶托的片槽；支撑柱，所述均温片通过支撑柱设置在片槽底部；所述籽晶托、均温片、通孔和片槽均为圆柱结构或正棱柱结构，所述片槽深度<均温片厚度+籽晶厚度+支撑柱高度<片槽深度+2mm。本实用新型结构简单，易于生产制造，降低了生产成本，具有良好的工业应用前景。