一种可调节的气体温度控制装置

摘要

本实用新型公开了一种可调节的气体温度控制装置，包括气管、导热块、加热块、温度控制器和显示器，所述气管穿过并固定在导热块上，所述导热块内设有加热块，加热块位于导热块内部，且不与气管直接接触，加热块通过导热块将热量传递传递至气管，加热块连接温度控制器，温度控制器通过信号线和控制线连接显示器。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型中的加热块可由温度控制器和TC反馈值来精确控制自身的温度高低，气管和加热块之间由导热块连接可方便拆卸、更换。通过该装置对工艺气体的温度调节可以确保流入气体与环境温度在一致，降低工艺气体对腔体环境温度的影响提升工艺稳定性。