PVD涂层用多功能试样工装

摘要

本实用新型公开了一种PVD涂层用多功能试样工装，包括三维试样机构、二维试样机构及一维试样机构，所述三维试样机构包括底板、主动齿轮及若干从动齿轮，所述主动齿轮与底板同心设置并安装在底板上部，若干所述从动齿轮呈环形均布在主动齿轮周侧，且安装在底板上，所述从动齿轮与主动齿轮相啮合，每个所述从动齿轮顶端均固定有圆柱，每个所述圆柱顶端固定有一个试样夹具。本实用新型结构简单，制造成本低；可以同时满足一维旋转、二维旋转、三维旋转的试样的放置，操作简单，节省时间，可以准确有效的监测每炉产品的涂层厚度。