法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-03-15
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02B 27/30 授权公告日:20050601 终止日期:20160122 申请日:19970122
专利权的终止
2005-06-01
授权
授权
1997-10-15
公开
公开
1997-09-24
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 光应用测量装置及其制造和光测量装置
机译: 彩色滤光片及其制造方法,用于测试彩色滤光片的着落液体材料的准确性的基质,制造该光滤色片及其方法,用于制造光的物质,用于制造该材料的方法以及用于测量准确度的基质的材料的发光装置及其制造方法,着落液滴材料的精度测量方法,光电装置,电子设备以及成膜方法和装置
机译: 用于测量光罩的装置和使用该装置测量光罩的方法,使用该光碟校正光罩的装置和方法以及制造光罩的方法