一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源

摘要

本实用新型公开了一种基于平行平板传输线微波大气压等离子源，涉及等离子源反应装置技术领域，包括发生装置，上FR4板和下FR4板之间设有垫片，馈电处与微波源连接，再将气体由上FR4板和下FR4板的两侧处注入，打开微波源开关，微波能量在聚集在发生装置缝隙处，此处电场强度将达到最高，调节微波源的输出功率，当其到达某一值时，缝隙处的电场强度击穿附近的气体，产生等离子体，微波等离子体更能增加气体分子的激发、电离、和离解过程，激发的亚态原子多，其对气体的电离和离解程度比其它类型的等离子体高出一个数量级，产出的等离子体密度大，电离度高，能量大，活性强，更易于发生或引发相关物理、化学反应。