掩膜版上版装置及光刻机

摘要

本实用新型涉及一种掩膜版上版装置及光刻机，该装置包括：上版夹具、第一伸缩杆、第一移动板、第二伸缩杆以及第二移动板。本申请提供的上述方案，第一伸缩杆能够带动第一移动板沿垂直于横向定位板的方向移动，且由于第一伸缩杆本身能够相对伸缩，当第一伸缩杆本身伸缩的时候，就可以带动第一移动板沿垂直于竖向定位板的方希移动，同理，第二移动板也能够沿垂直于竖向定位板的方向移动，且第二移动板也能够沿垂直于横向定位板的方向移动，当掩膜版放置到上版夹具上时，掩膜版位于第一移动板和第二移动板形成的空间中，通过调节第一移动板和第二移动板的相对位置，就可以方便适应不同尺寸的掩膜版。