一种基材离子轰击装置

摘要

本实用新型公开了一种基材离子轰击装置，包括其结构本体，结构本体包括若干个阴极发射组件、若干个正极收集组件、炉体、真空负压机、压力检测器及气体压缩机；正极收集组件包括绝缘底座、伸缩杆及正极金属槽，绝缘底座设置在炉体底部内表面，炉体为双层结构，炉体包括不锈钢支撑外壳及绝缘层，真空负压机、压力检测器及气体压缩机均分别设置在不锈钢支撑外壳外表面；阴极发射组件包括负极线插头、阴极导电套、阴极导电杆、绝缘外壳、绝缘垫圈及螺母及防弧罩；离子束较为集中，轰击的渗透速度更快，加工件的硬化层相比来说更深，遍布面积广，扩散速度快，工件的变形小，整体的加工效率更加高，产品的质量更好。