沟槽多晶硅过腐蚀台阶测试图形及其形成方法

摘要

本发明提供一种用于沟槽多晶硅过腐蚀台阶测试的测试图形，所述测试图形是被形成在衬底上的沟槽，所述沟槽包括底面和从所述底面延伸出的两个侧面，所述沟槽是以使其纵长方向与晶片划片槽的纵长方向形成非90o的预定角度的方式形成在所述衬底上的。本发明的测试图形，可在不改变沟槽宽度的情况下，延长台阶扫描设备的扫描长度。