一种基于金属基底的嵌入式压电传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于金属基底的嵌入式压电传感器，在金属基底层上依次设置粘接层、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层，在第三绝缘层上设置下电极粘接层，下电极层设置在下电极粘接层上，在下电极层上设置压电层，在压电层上设置上电极粘接层，上电极粘接层上设置上电极层，在上电极层上设置上电极绝缘层，上电极层的焊盘和下电极层的焊盘均位于第三绝缘层上，在上电极绝缘层上依次设置第四绝缘层、第五绝缘层、上粘接层、种子层、封装金属层。本实用新型将金属基底的传感器封装到金属里面形成的嵌入式结构，防护层更厚，强度更高，使传感器得到完全的保护，能用于恶劣的环境中，嵌入式封装工艺简单，时间短、成本低。