空间光调制器调节装置以及空间光调制器组件

摘要

本申请实施例提供了一种空间光调制器调节装置，包括调节板、第一固定座、第二固定座、安装空间光调制器的固定主板以及多个调节组件，调节板围成容置空间。第一固定座以及第二固定座中每个均包括底板、第一弹臂和用于承载空间光调制器的安装板，底板通过第一弹臂与调节板连接，安装板连接于底板且位于调节板的厚度方向的一侧。每个调节组件沿平行于调节板所在平面的方向与底板连接，以在至少两个方向上调节第一固定座以及第二固定座的位置。通过调节组件实现对底板位置的微调，进而微调第一固定座和第二固定座的位置，改变空间光调制器的位置。此外，本申请实施例还提供一种空间光调制器组件，其应用有上述调节装置。