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一种用于超高真空系统的低温旋转样品架

摘要

本实用新型公开了一种用于超高真空系统的低温旋转样品架,包括冷却液循环室、轴承、转动部件、驱动机构以及用于固定样品的夹持部件,所述转动部件上设有所述夹持部件,所述驱动机构与所述转动部件相连,所述冷却液循环室与所述转动部件通过所述轴承接触,所述冷却液循环室连接有冷却液输入管道及冷却液输出管道。本实用新型具有结构简单、操作方便,无需设置软连接,可靠性好等优点。

著录项

  • 公开/公告号CN214681828U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-11-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 湖南烁科晶磊半导体科技有限公司;

    申请/专利号CN202120509435.4

  • 申请日2021-03-10

  • 分类号B01L7/00(20060101);B01L9/00(20060101);

  • 代理机构43008 湖南兆弘专利事务所(普通合伙);

  • 代理人徐好

  • 地址 410000 湖南省长沙市高新开发区岳麓西大道1698号麓谷科技创新创业园A1栋1-1023房

  • 入库时间 2022-08-23 01:53:50

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