细外径磁控旋转阴极

摘要

本实用新型公开了一种细外径磁控旋转阴极，其包括靶管和设置在靶管内的靶芯，该靶芯包括磁芯座和磁铁，所述磁芯座上的水道孔偏心设置，该水道孔的回水口位于所述磁芯座的下端位置，若干磁铁分布在所述磁芯座的外壁上。本实用新型的结构设计巧妙，水道孔偏心位置以及磁铁位置布置合理，能有效且大幅度提高了靶面磁场强度，能够给沉积速率带来较高的提升；冷却水在磁芯座外部形成冷却，并带走热量，以热水形式经回水口流入水道孔上升流出，形成低进高出的冷却水路，冷却效果好，可以承受更高的使用功率，进一步提升沉积速率。另外整体结构紧凑，体积小，占用空间少，适用性强。