高速高精度运动平台

摘要

本实用新型公开了一种高速高精度运动平台，包括沿Y轴设置于对应设备的机台上的Y轴移动机构、设于所述Y轴移动机构的上方的X轴移动机构以及设于所述X轴移动机构上的Z轴移动机构，所述Y轴移动机构、X轴移动机构以及Z轴移动机构均包括相互平行的双滑轨、设于每一滑轨上的滑块、设于所述双滑轨两端的第一轴承座及第二轴承座、两端分别转动地设于所述第一轴承座及第二轴承座中的丝杆、用于驱动所述丝杆转动的转动机构、设于所述丝杆上的丝杆螺母、与所述丝杆螺母和滑块均连接的丝杆滑板以及设于所述丝杆滑板上的固定板，所述Z轴移动机构安装于所述X轴移动机构的固定板上。