公开/公告号CN214541498U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-10-29
原文格式PDF
申请/专利权人 浙大正呈科技有限公司;
申请/专利号CN202120527483.6
申请日2021-03-12
分类号G09F15/02(20060101);G08B25/12(20060101);G01S19/13(20100101);H02J7/35(20060101);
代理机构11881 北京奥肯律师事务所;
代理人贾融
地址 310000 浙江省杭州市西湖区西园九路8号3幢D座2楼201室
入库时间 2022-08-23 01:20:45
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 用于光刻技术的基于金刚石的监测设备,以及一种包括基于金刚石的监测设备的光刻设备
机译: 一种或多种技术基础设施的外包管理的系统,方法和装置