一种脆性材料激光微加工系统

摘要

本实用新型提供了一种脆性材料激光微加工系统，其包括：安装机架；设置在安装机架上的激光器、扩束镜、激光转折机构、聚焦物镜、成像物镜及相机，其中，激光器、扩束镜及激光转折机构设置在安装机架上侧并处于同一水平安装轴线上，聚焦物镜设置在安装机架下侧并与激光转折机构处于同一竖直安装轴线上，成像物镜和相机设置在激光转折机构的上方；切割机台，切割机台位于聚焦物镜的下方，切割机台用于承载待切割的工件。激光器发出的激光经扩束镜扩束后入射至激光转折机构，经激光转折机构反射至聚焦物镜，并经聚焦物镜聚焦后出射至切割机台。本实用新型结构的脆性材料激光微加工系统结构简单、紧凑，从而使得切割操作及维护工作更加便利。