一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置

摘要

本实用新型提供一种基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置。所述基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，包括：工作台，所述工作台顶部的两侧均固定连接有侧支撑板，所述工作台顶部一侧的侧支撑板的内部开设有放置槽，所述放置槽的内部固定连接有电机，所述放置槽内壁的一侧与另一个侧支撑板相对的一侧之间转动连接有转动轴。本实用新型提供的基于单晶硅外延片生产用晶圆表面微粒测试装置，通过两个电动伸缩杆带动测试机下降到与晶圆贴合处，对晶圆表面的微粒进行检测，工作人员可通过承压指示表直接清楚的查看到微粒的承压指示数据，同时测试机将晶圆表面的微粒数与承压数传输到显示屏上，人员可以清楚直观的查看到所需的测试数据。