公开/公告号CN213934240U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-08-10
原文格式PDF
申请/专利权人 南风(上海)精密物理仪器有限公司;
申请/专利号CN202023181355.5
发明设计人 朱国臣;
申请日2020-12-25
分类号G01V3/165(20060101);
代理机构31253 上海精晟知识产权代理有限公司;
代理人周琼
地址 200120 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号
入库时间 2022-08-22 23:35:05
机译: 航空标记,分析装置和无人机机载调查系统
机译: 图案检查装置,图案位置测量装置,航空图像测量系统,用于测量航空图像的方法,图案位置修复装置,用于修复图案位置的方法,航空图像数据处理装置,用于处理航空图像数据的方法,图案曝光装置,用于曝光图案,制造掩模的方法以及掩模制造系统
机译: 图案检查装置,图案位置测量装置,航空图像测量系统,用于测量航空图像的方法,用于图案位置修复的装置,用于图案位置修复的方法,用于航空图像数据处理的装置,用于处理天线的方法,用于处理天线的方法曝光图案,制造面具的方法以及面具制造系统