一种DNA测序装置、固态纳米孔组件

摘要

本实用新型公开一种DNA测序装置、固态纳米孔组件，包括：固态纳米孔组件，包括在硅片上刻蚀倒金字塔形微腔，倒金字塔形微腔的塔顶形成一固态纳米孔，倒金字塔形微腔的塔底两侧蒸镀有第一金属电极；在硅片上方生长有第一层氧化硅，在第一层氧化硅下方沉积有一层氮化硅；在氮化硅下方生长一第二层氧化硅形成金属电极氧化硅基座，在金属氧化硅基座刻蚀出一柱状空腔，柱状空腔底部的第二层氧化硅上覆盖有第二金属电极；第一金属电极、电流测量装置以及电源、第二金属电极构成纵向微弱电流测量回路；电流测量装置测量纵向微弱电流测量回路的电流强度的变化对通过固态纳米孔的DNA序列进行测定。通过本实用新型实施例，可以提高DNA测序精度和测序效率。