一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶硅生产中的氢气回收装置，包括回收箱和吸收箱，所述吸收箱的下表面固定安装在回收箱的上表面，所述吸收箱的内侧壁上部固定安装有主支撑板，所述吸收箱的内部下表面与主支撑板的下表面之间设有反应箱，所述吸收箱的内部且位于反应箱的两侧形成有互不连通的检测腔，所述吸收箱的上表面贯穿有主进气管，所述主进气管的底端贯穿主支撑板且伸入到反应箱内，所述吸收箱内设有吸附剂，本实用新型，在对氢气回收过程中，进行氯硅烷浓度的检测，一旦一批次的氢气中氯硅烷的含量过高，将重新进行吸附作用，直到浓度达到为止，从而提高了进入回收箱的氢气纯度，保证后序的工作有效的进行。