铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置

摘要

本实用新型公开了铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置，包括多个支撑杆、多个第二固定柱、多个第一固定柱和储水箱，所述支撑杆的顶部焊接有安装环，安装环的一侧通过螺栓固定有加热罐，加热罐的底部内壁通过螺栓固定有安装板，安装板的顶部通过螺栓固定有温度传感器，安装板的上表面设有加热板，且加热罐的一侧设有隔热门，所述加热罐的内部设有加热锅，且加热罐的顶部焊接有蒸馏管，蒸馏管的一端与储水箱相连接。本实用新型能够利用水蒸气液化时散发的温度对加热罐进行保温，充分利用加热时产生的热能，提高了提纯的效率，且实现了对六氟乙酰丙酮的提纯，提高六氟乙酰丙酮的利用率。