公开/公告号CN102956521B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 台湾积体电路制造股份有限公司;
申请/专利号CN201110396554.4
申请日2011-11-28
分类号
代理机构北京德恒律师事务所;
代理人陆鑫
地址 中国台湾新竹
入库时间 2022-08-23 09:43:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-03
授权
授权
2013-04-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20111128
实质审查的生效
2013-03-06
公开
公开
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