一种基于光谱共焦传感器的三维精密测量设备

摘要

本实用新型公开了一种基于光谱共焦传感器的三维精密测量设备，包括底座、Y轴导轨和X轴导轨，所述Y轴导轨沿垂直方向固定于底座顶部，且X轴导轨沿水平方向设置于Y轴导轨背面，所述Y轴导轨和X轴导轨均为C形结构，且Y轴导轨背面滑动连接有第一滑板，所述Y轴导轨顶部设置有第一伺服电机，且第一伺服电机的输出轴通过联轴器连接有第一丝杆。本实用新型能够驱动第一连接板、第一滑板沿Y轴导轨滑动，能够驱动第二连接板、第二滑板沿X轴导轨滑动，实现X轴方向和Y轴方向的同步移动，进行X轴向和Y轴向移动时，同步与光谱共焦传感器进行Z方向的数据读取，整合成精密的三维数据，可实现对产品进行高精密解析。