公开/公告号CN213528026U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-06-25
原文格式PDF
申请/专利权人 河南省科荣气体设备有限公司;
申请/专利号CN202022193306.7
申请日2020-09-29
分类号B01D53/04(20060101);B01D46/00(20060101);
代理机构41129 河南大象律师事务所;
代理人李记辉
地址 453400 河南省新乡市长垣县蒲西区人民路西段路北120号
入库时间 2022-08-22 22:31:12
机译: 从硅单晶制造装置中回收和净化氩气的方法以及用于回收和净化氩气的装置
机译: 硅单晶制造装置中的氩气回收纯化方法及氩气回收纯化装置
机译: 从硅单晶生产装置中回收和纯化氩气的方法,以及回收和纯化氩气的装置