一种内引脚接合机弹簧组件承接保护装置

摘要

本实用新型公开了半导体制造领域内的一种内引脚接合机弹簧组件承接保护装置，包括与弹簧相对应地设置有保护组件，保护组件包括收集底盒和侧挡外壳，所述收集底盒包括底板，底板的四周分别设置有前侧板、左侧板、后侧板和右侧板，前侧板上一体设置有向上延伸的安装基板，安装基板通过至少两个紧固件一与机台相固定连接；侧挡外壳包括左侧挡板、后侧挡板和右侧挡板，收集底盒的后侧板通过至少一个紧固件二与侧挡外壳的后侧挡板相固定连接，收集底盒的左侧板、右侧板分别与侧挡外壳的左侧挡板、右侧挡板相贴靠设置，弹簧位于收集底盒的垂直向上投影区域之内。本实用新型能够收集金属颗粒，避免对半导体产品的性能造成影响，提升产品良率。