一种捡晶机离子风枪防撞架

摘要

本实用新型公开了半导体制造领域内的一种捡晶机离子风枪防撞架，包括安装板，安装板上一体设置有固定板，固定板的长度大于安装板的长度，固定板上沿长度方向依次排列设置有若干腰形槽一，腰形槽一的轴线与固定板长度方向相平行，所述安装板呈矩形，安装板下边缘的左侧一体设置有安装耳，安装板上对应安装耳开设有弧形槽，安装板上固定连接有离子风枪，离子风枪的左侧对应安装耳设置有连接耳，离子风枪靠近安装板的一侧开设有螺纹孔，所述连接耳和安装耳通过紧固件固定连接，离子风枪的螺纹孔与安装板通过穿过弧形槽的紧固件相固定连接。本实用新型能够使得离子风枪的安装位置避开摆臂的旋转行程范围，避免摆臂反转时与离子风枪发生碰撞。