公开/公告号CN213033082U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-23
原文格式PDF
申请/专利权人 冉昆真空科技(上海)有限公司;
申请/专利号CN202021834397.1
发明设计人 李蒙;
申请日2020-08-28
分类号B08B1/04(20060101);B08B13/00(20060101);
代理机构31339 上海启核知识产权代理有限公司;
代理人达晓玲
地址 201616 上海市松江区小昆山镇光华路650号10幢1层、2层
入库时间 2022-08-22 21:05:03
机译: 控制干式真空泵和干式真空泵及半导体制造真空处理器的真空排气能力的方法和装置
机译: 真空泵干式活塞真空泵,其传感器位于泵级之间,评估单元与电动机控制装置相连,以传输评估信号,以便控制机构根据评估信号改变电动机的转速
机译: 带组合螺杆转子的螺杆式干式真空泵