公开/公告号CN212986741U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海盛韬半导体科技有限公司;
申请/专利号CN202021014837.9
申请日2020-06-05
分类号F17C5/00(20060101);F24H3/04(20060101);
代理机构
代理人
地址 201315 上海市浦东新区秀浦路3999弄30号B区一楼
入库时间 2022-08-22 20:54:14
机译: 用于分离至少一种气体和至少一种lquiquido混合物的混合物,该混合物以主要包含lecquido的重馏分和主要包含气体的轻馏分的分离。进料系统,用于预处理至少一种气体和l的混合物至少一种用于分离的馏分,馏分主要包含重馏分和轻馏分,主要馏分包含气体,进气系统和系统EMA或进气系统的操作方法
机译: 用于制造用于存储压缩气体的轻量钢瓶或瓶子的特殊钢的改进和与之有关的改进
机译: 用于半导体制造工艺的特殊气体再生的预处理装置及其预处理方法