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一种真空六自由度运动平台

摘要

本实用新型公开了一种真空六自由度运动平台,包括运动台本体,所述运动台本体的上端固定连接有过渡转接板,所述过渡转接板的内部设有多个真空航插,所述过渡转接板的下端设有用于固定的法兰,所述运动台本体的内部于过渡转接板的下方设有X轴平移台,所述X轴平移台的下方设有Y轴平移台,所述Y轴平移台的下方设有连接杆。本实用新型结构合理,可以减少运动平台在工作时存在的误差,提高其精度。

著录项

  • 公开/公告号CN212960672U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2021-04-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海联谊光纤激光器械有限公司;

    申请/专利号CN202020728733.8

  • 发明设计人 瞿新龙;卫裕;瞿兴华;周正平;

    申请日2020-05-07

  • 分类号F16M11/12(20060101);

  • 代理机构31364 上海汇齐专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人朱明福

  • 地址 200000 上海市崇明区长兴镇大兴村390号C1

  • 入库时间 2022-08-22 20:49:00

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