公开/公告号CN212963166U
专利类型实用新型
公开/公告日2021-04-13
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州英示测量科技有限公司;
申请/专利号CN202021822369.8
申请日2020-08-27
分类号G01B5/252(20060101);G01B5/28(20060101);
代理机构32366 苏州隆恒知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人金京
地址 215000 江苏省苏州市新区向阳路
入库时间 2022-08-22 20:48:33
机译: 测量安装座直线度的方法,测量平面度的方法,调整高度的方法以及程序
机译: 用于测量平面度的装置和方法,能够通过使用从多个位移测量传感器到同时测量的平面的表面的距离的差值来测量板的平面度
机译: 用于测量精密X-Y活动平台的标称平面镜的平面度或直线度偏差的设备