一种CMP设备用压力传感器的连接结构

摘要

本实用新型提供一种CMP设备用压力传感器的连接结构，涉及压力传感器技术领域，包括研磨机和连接装置，研磨机的上表面滑动连接有液压臂，液压臂的表面固定连接有压力计，压力计和液压臂彼此靠近一端的表面设有连接装置，连接装置包括有卡环，卡环的内壁和液压臂的外表面固定连接，压力计的上表面设有接口，压力计的上表面固定连接有固定装置，固定装置包括有两个滑动块。本实用新型，解决了在将压力传感器安装完毕之后就能够使用了，但是在压力传感器使用时间过长时会出现损坏等问题需要将压力传感器取下来进行维修，但是传统的连接结构不能轻易的将压力传感器取下来，会造成拆卸时间延长的问题。