一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置

摘要

本实用新型公开了一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，包括显影液生产线，所述显影液生产线的一侧设置有冷凝回收甲醇，所述冷凝回收甲醇的一侧设置有真空泵机组，所述真空泵机组主要包括有水环真空泵，所述真空泵机组的一侧设置有水封罐，所述水封罐的一侧设置有七塔，所述七塔的一侧设置有膜回收机组，所述膜回收机组的内部设置有预冷器，所述预冷器的上端设置有真空泵，所述真空泵的上端设置有旁通管辂。本实用新型所述的一种用于TMAH显影液生产线的甲醇尾气回收装置，在七塔尾气出口处安装膜回收装置，回收尾气中甲醇等有机相液态，回收液资源化利用，降低尾气浓度，减轻后续VOC治理负荷，带来更好的使用前景。